◎記者 劉逸鵬
這是一場有關信心與決心的“長跑”。
十二年的時間，從一間不足100平方米的辦公室起步，到成為資本市場的“新兵”——深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（下稱“恒運昌”）做對了什么？
“首先是信心，我始終相信，中國半導體產業(yè)會實現自強自立；其次是決心，闖出一條新路，不一定能夠成功，但是如果不邁出第一步，那絕對不會成功。”坐在鏡頭前，恒運昌董事長樂衛(wèi)平整理了一下西裝，又微微調整了坐姿，口中的話語鮮有停頓。
1月28日，恒運昌在科創(chuàng)板掛牌?！吧鲜惺且粋€新的起點，我們不滿足于僅實現自主可控，恒運昌的愿景是成為一家圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案的平臺型公司?！睒沸l(wèi)平說。
在縫隙中尋找“火種”
2013年，中國半導體產業(yè)還處于萌芽階段，國產半導體零部件裝備在晶圓廠中幾乎沒有一席之地。
彼時，樂衛(wèi)平已經在美國AE公司工作了十一年，他見證了國內客戶的普遍困境——國內晶圓廠的建設和生產標準完全參照美國，裝備清一色來自國外，不僅沒有定價權，也無法保證交付期。
這種“卡脖子”的困境，觸動了樂衛(wèi)平創(chuàng)業(yè)的決心?！氨M管這意味著要放棄外企的優(yōu)厚待遇，但我毫不猶豫?！睒沸l(wèi)平表示。
在深圳市寶安區(qū)一間不到100平方米的辦公室內，樂衛(wèi)平開始了創(chuàng)業(yè)“長跑”，并將方向定于等離子體射頻電源系統。這并不是一個簡單的電源設備，它是半導體制程中薄膜沉積、刻蝕等核心工藝控制的“心臟”。
團隊最初只有5名員工，面臨著資金、人才、市場信任等不確定性。在幾乎沒有收入的情況下，樂衛(wèi)平仍決定將有限的資源全部投入產品研發(fā)。
此后三年，在這間辦公室里，團隊成員埋頭苦干，反復在技術上進行鉆研。公司賬上的資金，很快就捉襟見肘，最困難時，連工資發(fā)放都面臨壓力?！翱晒詰?zhàn)沒有捷徑，越是核心、越是艱難，一旦突破，價值就越大。”樂衛(wèi)平說。
2015年，恒運昌第一代1KW工業(yè)級射頻電源問世，在客戶端測試中，其性能仍有短板。
面對挫折，樂衛(wèi)平沒有氣餒，開始了更加頻繁地奔走?！白鲅邪l(fā)要耐得住寂寞，獲得市場的認可更是一個漫長的周期。”樂衛(wèi)平稱。
2017年，在一場行業(yè)展會上，樂衛(wèi)平結識了國內薄膜沉積設備龍頭企業(yè)拓荊科技?！爱敃r，他們同樣處于國產化攻堅的早期階段。或許是雙方都秉持著國產化的堅定信念，才為后面的合作埋下了伏筆。”樂衛(wèi)平說。
從“破冰”訂單到國產龍頭
時至今日，樂衛(wèi)平仍清晰記得，2018年，拓荊科技在研發(fā)PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）設備時，急需定制開發(fā)一套國產射頻電源系統。他帶著整個公司的8名同事，從深圳飛到沈陽，與拓荊科技團隊進行了一整天的技術交流。“工作餐都是在會議室吃的。”他回憶道。
伴隨著首次合作的確定，更加艱辛的跋涉開始了。恒運昌組建了專項團隊，針對拓荊設備的具體工藝需求，開始了高強度的定制開發(fā)和測試迭代。從樣品初研到反復送樣，從性能參數優(yōu)化到工藝適配調整，整個過程持續(xù)了近三年。
2020年底，恒運昌的等離子體射頻電源系統產品正式通過拓荊科技的驗證，并獲得首批批量訂單。“這個訂單，是恒運昌命運的轉折點。它不僅帶來了至關重要的現金流，更重要的是，它像一塊敲門磚，為恒運昌在行業(yè)內建立了最初的信用背書。我們的產品通過了最嚴格的實戰(zhàn)檢驗。”樂衛(wèi)平說。
此后，中微公司、北方華創(chuàng)、盛美上海等國內主要半導體設備商相繼成為恒運昌的客戶，驗證周期也縮短至一年之內。
此外，恒運昌的產品線也從CSL系列，迭代至可支撐28納米制程的Bestda系列，再到突破7納米至14納米先進制程的Aspen系列，部分關鍵指標已達到與海外龍頭企業(yè)次新一代產品同等技術水平。2021年，恒運昌向中芯國際交付的產品，實現了刻蝕設備用射頻電源的首次國產原位替換。
市場數據同樣印證著恒運昌的成長：2024年，恒運昌在中國半導體行業(yè)等離子體射頻電源系統的國產廠商中，市場份額位列第一，在該細分領域的國產化進程中扮演了關鍵角色。
從“卡脖子”到“掰手腕”
當下，恒運昌已經駛入增長的快車道。如何平衡速與質的關系，保證每一臺出廠的電源都達到“精密復制”的半導體級品質，成為公司面臨的管理挑戰(zhàn)。
“恒運昌的應對之策是堅守質量流程，從研發(fā)、生產到售后，建立嚴格的全流程管控體系。我們絕不會因為交付壓力而降低品質標準?！睒沸l(wèi)平說。
招股書顯示，2022年至2024年，恒運昌的營收從1.58億元增至5.41億元，凈利潤從2618萬元增至1.42億元，營收及凈利潤的復合增長率分別高達84.91%和131.87%。2022年至2024年，公司產能利用率連續(xù)超過100%。
樂衛(wèi)平告訴記者，登陸科創(chuàng)板，募集資金用于擴產和研發(fā)，已經成為恒運昌發(fā)展的必然選擇，也是公司戰(zhàn)略升級的主動布局。
根據規(guī)劃，恒運昌本次IPO募資將主要用于沈陽產業(yè)化基地、深圳智能化生產基地及研發(fā)中心建設。其中，沈陽基地將重點解決產能瓶頸，統籌區(qū)域內優(yōu)勢資源；深圳基地和研發(fā)中心則旨在拓展產品線，并向光伏、顯示面板等更廣闊的應用領域進軍。
目前，恒運昌的第三代Aspen系列產品在調諧時間、功率精度等關鍵指標上已經能夠比肩國際龍頭的次新一代產品；公司也啟動了劍指5納米及以下制程的第四代產品研發(fā)，旨在實現與國際最先進產品的“并跑”。
從被“卡脖子”到嘗試“掰手腕”，恒運昌不僅要實現自主可控，未來更要持續(xù)與國際巨頭同臺競技，在全球半導體產業(yè)鏈中占據一席之地?！半m然，前路依然漫長，但曙光已經可見。”樂衛(wèi)平說。